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求大神推荐集成电路工艺方面的书

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发表于昨天 12:50 | 显示全部楼层

施敏的《半导体制造工艺基础》入门，斯蒂芬·坎贝尔的《微纳尺度制造工程》进阶。后续要各种工艺参数，还需要大量涉猎查找。

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