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mocvd是什么意思？

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mocvd

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发表于 2025-10-3 12:54:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
MOCVD是在气相外延生长【VPE】的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及多元固溶体的薄层单晶材料。一般MOCVD设备都具有手动和微机自动控制操作两种功能。
外延, 生长, 气相

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